【科晶小课堂】磁控溅射仪制备50nm氧化锌(ZnO)薄膜
发布时间:2022-09-09? ?|? ?浏览:8 ??|? ?类别:技术文章
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本期科晶小课堂为您讲解用磁控溅射仪制备50nm氧化锌(ZnO)薄膜!
使用设备:VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪
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在硅片上制备50nm的氧化锌(ZnO)薄膜
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VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪
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VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪
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